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(1)等離子表面清洗機的工作原理
①等離子體表面處理是指非聚合性無機氣體，如Ar、N2、O2、H2等 等離子體對材料表面的物理或化學的作用過程。參與表面反應的有激發態分子、自由基和離子，也包括等離子體輻射紫外光的作用。
(2)真空等離子清洗機的組成結構
①控制單元：現在的等離子清洗機主要有全自動控制、半自動控制、PC控制、液晶觸摸屏控制四種控制單元，而控制單元主要由電源、控制系統、控制按鈕和操作顯示器等部分組成。
②真空腔體：真空腔體就是用于清洗對象物的空間，主要有石英腔體和不銹鋼真空腔體。由于其內部采用真空滅菌防菌以及等離子清洗法，對于腔體壓力的承受有著一定的要求，所以需要采用材質較好的腔體進行配置。
③真空泵：等離子清洗機的主要動力來源就是真空泵，主要作用是將真空腔體中的空氣抽干，達到真空的環境，然后再進行等離子清洗。真空泵主要分為干泵和油泵。干泵主要以電力為動力源，而油泵則使用汽油或柴油為動力源。
(3)旋噴型等離子表面處理機的旋轉方式
①直流電機：旋轉速度快，約3000轉/分鐘；
②步進電機：旋轉速度適中，約2500轉/分鐘；
③空心電機：旋轉速度稍慢，1800-2000轉/分鐘
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