誠峰20年專注等離子清洗技術研發
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(1)如何保養真空等離子清洗機的真空泵
①定期檢查真空泵油每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時，則添加到油紅標線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當油出現渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時更換真空油。
(2)真空等離子清洗機腔體有污染物怎么辦
① 等離子腔體清潔時產生的污物大部分都接近電子級別，會隨著真空泵排除。但也會有一些大顆粒污染物產生。這些大顆粒污物會附著在腔壁、電極和托板架上。腔壁上有一層薄薄的“灰”，腔低掉落更嚴重。對腔壁要用不可掉落的毛刷清潔，使顆粒粉塵異物在腔壁脫落，用吸塵機將污物吸出。用脫脂布沾酒精擦拭，其次腔體內導入N2和O2，用等離子體清除腔體內殘余物，工作10min。
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