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CRF低溫等離子體處理后材料表面會發生什么反應
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發布時間：
2023-06-26
CRF低溫等離子體處理后材料表面會發生什么反應:
CRF低溫等離子體狀態是物質存在的主要形式之一，是第四種有別于氣體、液體和固體的物質狀態，是由離子、電子、原子、分子和自由基等粒子組成的集合體。電子通過電場加速能量供應，物質分離成陰陽離子。此時，整個系統中的陰陽離子總電荷相等，外部電中性，因此被稱為等離子體。近年來，等離子體技術已廣泛應用于材料、微電子、化工、機械和環境保護等學科。
粒子、粒子密度和粒子溫度是低溫等離子體狀態的三個要素。根據低溫等離子體中電子溫度與粒子溫度的關系，等離子體又可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩種。低溫等離子體又分為熱平衡等離子體(簡稱熱等離子體)和非平衡等離子體(又稱冷等離子體)。熱等離子體中的電子溫度與離子溫度相同，容易處于局部熱平衡狀態。等離子體溫度較高，一般在大氣壓或高氣壓條件下產生。由于其特點，熱等離子體廣泛應用于等離子體噴涂、冶金、合成、磁流體發電、焊接等領域。冷等離子體中的電子溫度和離子溫度不同，其電子溫度較高，但離子溫度只有幾百K，整體宏觀溫度較低。一方面，冷等離子體有足夠的電子能量刺激、離解和電離反應物，實現普通化學反應無法進行的反應；另一方面，反應系統可以保持低溫。因此，低溫等離子體應用廣泛。如高效特殊光源、材料表面滲氮處理、聚合膜和功能膜、表面處理、離子蝕刻、揮發性氣體處理、殺菌、催化、廢水處理等。
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