誠峰20年專注等離子清洗技術研發
國家高新技術企業
EN
熱門文章
微流控PDMS芯片鍵合plasma清洗機應用
關鍵詞：
發布時間：
2023-07-07
微流控PDMS芯片鍵合plasma清洗機應用：
微流控PDMS芯片一般采用等離子體處理的方法去獲取。選用等離子清洗機來鍵合微流控PDMS芯片，不同類型的工藝參數會直接影響到PDMS芯片的鍵合硬度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強度可以達到3-5bars的耐壓值。
一、玻璃/PDMS等離子體鍵合
為了能夠永久性的把PDMS芯片結合到玻璃片上，科研人員應用等離子清洗機來改變玻璃和PDMS的表面性質。plasma清洗機處理將會改變玻璃和PDMS芯片表面的化學性質并允許把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻增)。如果等離子體鍵合步驟出錯，芯廣將會漏液并且將無法正常應用。在plasma清洗機選擇和使用上，需要留意幾個重要的地方。
二、plasma清洗機氣體的挑選
表面態取決于所使用的氣體。腔室內大氣等離子體在大多數情況下都能夠滿足實驗要求。有些科研人員喜歡應用純O2來控制腔室內總的氣體組分，但是需要更多的設備及加工過程更加嚴格。
三、plasma清洗機-灰塵
表面上灰塵的具有會阻止玻璃-PDMS的等離子體鍵合。另外，磁盤上灰塵的位置和大小還會影響PDMS的硬度。初次清洗，最少要1個清潔干燥的空氣噴射來沖洗磁盤或硅片。當然，也有其它的方法去移除灰塵，您可以使用3M透明膠帶來移除表面的顆?；蚋鼮橛行У氖悄€可以把芯片放置在異丙醇溶液(IPA)內并且使用超聲波來分離表面和PDMS孔洞內部的不需要的顆粒，為了能夠清洗干凈玻璃，能夠先后反復使用丙酮、異丙醇、水來進行清洗之后再進行干燥處理。
熱門產品
相關文章
友情鏈接
誠峰智造一專注等離子研發20年
我們
的服務
咨詢免費測樣
1對1方案定制
24小時在線售后
源頭生產廠家
掃碼獲取資料
